WH-SC-01匀胶机适用于半导体工艺，制版及表面涂覆等工艺，可在科研、教育等单位作科研、教学之用。其总体设计由苏州汶颢微流控技术股份有限公司独立开发完成，具有独立知识产权。

匀胶机快速启动和稳定的转速，能够保证胶厚度的一致性和均匀性。采用全触摸屏控制，三档转速。在启动之后先在低速下进行匀胶，之后切换至高速下进行甩胶，转速及相应的时间分别可调；实现启停可控，转速实时观察等功能。仪器配置“安全开关”按钮，当进行高速运转时，关上上盖后，“安全开关”启动，运行过程中，上盖不能打开。可以起到保护作用。

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2.台式匀胶机旋涂仪技术参数

² 转速：300-4500RPM

² 时间控制：1--32767s

² 转速稳定性：±1%

² 胶的均匀性：±3%

² 参数设定：触摸屏设置参数

² 适用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等匀胶

² 电源输入：AC220V±10V,50HZ

² 功率：60W

² 重量：13kg

² 外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）

² 工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80%

3.台式匀胶机旋涂仪特征图解

①防撞垫②匀胶托盘③触摸屏④专用吸附盘⑤观察窗⑥盖板 ⑦抽气孔⑧电源插口及开关

4.台式匀胶机旋涂仪操作说明

（1）选择合适的专用吸附盘（略小于样本尺寸），将缺口对准螺钉安装，吸附盘安装时一定要插入到底。

（2）开启电源，进入参数设置页面。可分别设置三个阶段转速和时间，按工艺设置好转速和时间，点击“确定”。

（3）进入启动仪器界面，放片，要注意放正。打开真空泵，点击“吸盘”后点“启动”，仪器开始运行。转速和运行阶段以及当前阶段剩余时间可在显示屏上实时观察。

（4）滴胶，动作要快。在**阶段运转时间内滴胶完毕，关上上盖；随时间推移自动运行第二和第三阶段。关上上盖后，安全开关启动，必须等到仪器停止运行，上盖才能被打开。

（5）电机停转后，点击脱盘，吸片停止。打开上盖，取下片子。

（6）继续匀胶时重复以上步骤。

（8）匀胶结束后，关上上盖，切断电源。