BROOKS金属密封热质量流量控制器GF135系列

使用 GF135 诊断式压力变化补偿型 (PTI) 质量流量控制器确保关键流量过程的准确控制并使通量大化。全球首台“智能”质量流量控制器，真正意义上的变革者：该产品执行累积衰减比流量测定，无需停止过程气体输送。半导体制造商可利用该产品实时验证过程气体流量准确性、检查泄漏情况并监视传感器稳定性同时无需将流量控制器从气路上拆除。

GF135 PTI MFC 将全金属接液流路、超快速稳定功能和业内的过程气体精度相结合，能够改变各种淀积工艺的生产效率和吞吐率。

特点

长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%

稳定时间极短：<300 ms - <400 ms

满量程流速：3 sccm 至 5 slm

超高纯度流路 - 4µ 英寸 Ra 表面处理

借助衰减率 (ROD) 技术实现的嵌入式实时流量故障检测与预测功能

加强过程气体测量精度 - 大可提升三倍 - 经气体实测优化的气体建模功能

第三代压力变化补偿 (PTI) 技术

高清晰度的可旋转电子 LCD 显示屏能够本地显示流量、温度、压力和网络地址

DeviceNet™、RS-485 和模拟接口

优势

实时流量故障检测功能可更快速地根据流量偏差进行调节并能够提高晶圆成品率

传感器稳定性跟踪功能可通过预防性维护延长系统运行时间

阀泄漏跟踪功能有助于大限度降低"片晶圆效应"

提高过程气体测量精度，使其满足挑战性的 10 nm 级过程气体化学控制要求

产品拥有市场的流量稳定速度，可减少非生产性流量稳定步骤，支持先进的 3D 设备加工

提高压力变化补偿能力并实现过程气体控制，从而强化蚀刻和沉积控制

耐腐蚀 Hastelloy® 传感器拥有无可比拟的长期稳定性，可确保产率和通量大化

支持表面安装和 VCR MFC 的插入式更换，便于对现有系统中的关键气路进行升级

应用

半导体蚀刻工具

Brooks Instrument是精密流体测量和控制技术的全球***，能够实现的工艺性能，成立于1946年美国。是是ITW一个部门，ITW是的专业工业设备，消耗品和相关服务业的多元化制造商之一。主要产品包括：Brooks Instrument质量流量控制器、Brooks Instrument转子流量计、Brooks Instrument压力传感器、变送器、真空计、调节器、控制器等，广泛应用于重工业、油气精炼、化学和石化研究、制药和生物制药生产、太阳能电池、LED薄膜、光纤和半导体制造领域。

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