EDI超纯水设备

一、超纯水设备

微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高，这也对超纯水处理工艺的自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。

二、应用场合

半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；超纯材料和超纯化学调节剂实验室和中试辅音LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏幕高品质显像管、萤光粉生疼；半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗。

三、典型电子级超纯水制备工艺

预处理---反渗透---水箱---阳床---阴床---混合床---纯水箱---纯水泵---紫外线杀菌器---精制混床---微孔膜过滤器---用水对象

预处理---一级反渗透---Ph调节装置---中间水箱---二级反渗透---纯水箱---纯水泵---紫外线杀菌器---微孔膜过滤器---用水对象

预处理---二级反渗透---中间水箱---水泵---EDI装置---纯水箱---纯水泵---紫外线杀菌器---微孔膜过滤器---用水对象   新工艺

预处理---二级反渗透---中间水箱---水泵---EDI装置---纯水箱---纯水泵---紫外线杀菌器---抛光混床---TOC分解器---微孔过滤器---用水对象 **工艺

四、EDI原理及工作过程

EDI技术是将两种已经成熟的净水技术、电渗析和离子交换技术相结合，将离子交换树脂填充在阴、阳离子交换膜《专用膜》之间EDI单元（俗称淡水室），在一定电压、电流作用下使离子从清水室进入到邻近的浓水室。

EDI组件将给水合成三股独立的水流：

（1）纯水（**使用率为90-99%）

（2）浓水(纯水的5-10%)

（3）极水（1-2%排放）

极水先经过阳极再进入阴极区，极水可以从电极区推出电解产生氯气、氧气和氨气。

五、EDI技术参数