1.奈米深度3D检测
2.高速/无接触量测
3.表面形状/粗糙度分析
4.非透明/透明材质皆适用
5.非电子束/非雷射的安全量测
6.低维护成本
7.系统硬件搭配lmgscan前处理软件自动解析白光干涉仪条纹
8.垂直高度可达0.1mm
9.高速的分析算法,让您不再苦候测量结果
10.垂直扫描范围的设定轻松以容易
11.有10X、20X、50X、倍率的物镜可供选择
12.平台X、Y、Z、位置数字式显示,使检测目标寻找快速又便利
13.具有手动/自动光强度调整功能以取得**的干涉条纹对比
14.具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择
15.具有专利的解析算法可处理半透明物体的3D形貌
16.具有自动补点功能
17.可自行设定扫描方向
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