等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，电浆清洗机，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
集成式低温大气辉光等离子清洗机能够更好地实现以下功能
1、活化：大幅提高表面的润湿性能，形成活性的表面；
2、清洗:去除灰尘和油污、精细清洗和去除静电；
3、涂层:通过表面涂层处理提供功能性的表面 ；
4、提高表面的附着能力；
5、提高表面粘接的可靠性和持久性。
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