-高速旋转马达。
-可变范围为1:240（1~240 Hz）高速
-需要适合高速旋转的马达（特别是轴承支持结构）
-要求高速条件的低震动场景
适用标准- 功率 / 转速 1) 250W – 5000 , 6000 rpm 2) 600W – 5000 , 6000 rpm
l 高速(5000rpm ~ 8000rpm)l 超快的加速/减速时间 Accel/Decel timel 低噪音、低震动 Low Noise and Vibrationl Maximized hollow bore size for Process
Unification **限度的提高中控孔的加工尺寸.
l Hollow Shaft for Vacuum真空空心轴设计
l Cooling system (Water cooling system)水冷却系统l Very Low level of mechanical Tolerance非常低的机械公差l Customized design for each machine 为每台设备定制化设计l Minimized size with multi stacked design最小和多种堆叠的设计
规格Specification：
- 法兰Flange: 80mm ~ 100mm flange- 速度范围Speed range: 5,000rpm ~ 6,000rpm
- 转矩Torque: o.64Nm ~ 2.50Nm of rated torque
- 输出Output: 300W ~ 700W
- 应用Application: Spin Coater &Developer for Photo track
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