直流磁控溅射用于镀制金属膜及化合物膜，例如金、银、铝、钛、铬等，输出电压为直流，具有稳流功能，稳流精度高（达1%）。
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品名 |
直流磁控溅射电源 |
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型号 |
MSD系列 |
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输入 |
相数 |
三相+N |
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电压 |
380V |
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频率 |
50Hz |
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输入方式 |
4线（含零线） |
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输出 |
波形 |
直流 |
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功率 |
20kW~200KW（可定制） |
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电压 |
0—1200V（可定制） |
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稳定度 |
≤1% |
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电流 |
0—200A（可定制） |
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稳定度 |
≤1% |
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纹波及杂讯 |
≤5%或≤3% |
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效率 |
≥90% |
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控制 |
控制方式 |
标准方式：恒流 |
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可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换 |
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控制接口 |
标准方式：面板手动 |
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可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) |
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保护 |
具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 |
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冷却 |
风冷或水冷 |
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外型 |
防护等级 |
IP21 |
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单元尺寸(W*D*H) |
箱体：440(W)X220(H)X560(D) （20KW风冷） 面板：482(W)X248(H) |
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重量 |
约30KG（30KW） |
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备注 |
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