郑科探 真空腔体 不锈钢真空腔体加工机加工

      小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体，更多的是利用电解抛光来进行表面处理。 　

　   焊接是真空腔体制作中重要的环节之一。为避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接质量，通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体氩气，以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。 　

　超高真空腔体的氩弧焊接，原则上必须采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免存在死角而发生虚漏。真空腔体不允许内外双重焊接和双重密封 　真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有*物，成为影响真空度的放气源。为实现超高真空，要对腔体进行150～250℃的高温烘烤，以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热。 　

   　图实验室的真空腔体烘烤时的真空度变化结果，烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3Pa时，开始给加热带逐渐通电加热，*终保持腔体在150℃下进行长时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵，同时也给离子泵通电进行加热烘烤，这时的真空腔体只靠分子泵和前级泵来排气。随着腔体温度的升高，腔体内表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出，真空度会迅速恶化。气体的放出量随着烘烤时间的延长而逐渐减少，因此真空度也逐步好转。停止烘烤时，切断加热带和离子泵的烘烤电源，然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给Ti丝通电加热，但又控制温度在Ti升华温度之下的使用。钛升华泵除气处理的目的是清楚吸附在Ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物，以确保钛升华泵的正常工作。chongfen完成钛升华泵的除气处理之后，启动离子泵和钛升华泵，加da真空排气的力度。随着排气力度的增大和由于腔体温度而放出气体的减少，系统的真空度会迅速好转。

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