产品介绍
手动硅片测试仪可以测量硅片厚度、总厚度变化TTV、弯曲度,该仪器适用于Si,GaAs,InP,Ge等几乎所有的材料,所有的设计都符合ASTM(美国材料实验协会)和Semi标准,确保与其他工艺仪器的兼容与统一。
硅片无接触测试仪-产品特点
■ 无接触测量 ■适用的晶圆材料包括Si,GaAs,InP,Ge等几乎所有的材料 ■厚度和TTV测量采用无接触电容法探头 ■ 高分辨率液晶屏显示厚度和TTV值 ■性价比高 ■ 菜单式快速方便设置 ■高分辨率液晶LCD显示 ■ 提供和计算机连接的输出端口 ■ 提供打印机端口 ■ 便携且易于安装 ■为晶圆硅片关键生产工艺提供**的无接触测量 ■高质量微处理器为**和重复精度高的测量提供强力保障 ■高质量聚四氟乙烯晶圆测试架,为晶圆硅片**定位提供保障
无接触硅片测试仪-技术指标
■ 晶圆硅片测试尺寸:50mm- 300mm.
■ 厚度测试范围:1000 um,可扩展到1700 um. ■ 厚度测试精度:+/-0.25um ■厚度重复性精度:0.050um
■ TTV 测试精度: +/-0.05um ■ TTV重复性精度: 0.050um
■ 弯曲度测试范围: +/-500um [+/-850um] ■ 弯曲度测试精度:+/-2.0um ■弯曲度重复性精度: 0.750um
■ 晶圆硅片导电型号:P 或 N型
■ 材料:Si,GaAs,InP,Ge等几乎所有半导体材料
■ 可用在:切片后、磨片前、后,蚀刻,抛光以及出厂、入厂质量检测等
■平面/缺口:所有的半导体标准平面或缺口
■硅片安装:裸片,蓝宝石/石英基底,黏胶带
■连续5点测量
应用范围
> 切片
>>线锯设置
>>>厚度
>>>总厚度变化TTV
>>监测
>>>导线槽
>>>刀片更换
>磨片/刻蚀和抛光
>>过程监控
>>厚度
>>总厚度变化TTV
>>材料去除率
>>弯曲度
>>翘曲度
>>平整度
> 研磨
>>材料去除率
> **检测
>> 抽检或全检
>>终检厚度
典型客户 美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。
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北京合能阳光新能源技术有限公司
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