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2"蓝宝石晶片的指标 |
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Crystal Materials (材料) |
High Purity, Monocrystalline Al2O3 |
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Grade(加工等级) |
Prime,Epi-ready |
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Orientation(晶体定向) |
C-axis [0001] off to M-plane[1-100] 0.2°±0.05° |
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Diameter(直径) |
50.8mm± 0.1 |
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Thickness(厚度) |
430um+/-10um |
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Primary Flat(主定位边） |
A-axis[11-20] ± 0.25° |
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Major Flat Length (**定位边长） |
16.0mm± 1mm |
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Minor (第二定位边) |
N / A |
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Surface Finish(表面处理) |
Front side(正面): Epi-ready polished,Ra≤0.2nm ; Backside(背面):Fine ground ,Ra=0.4~1.2 |
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TTV/BOW/Warp(平整度) |
TTV ≤10um; BOW ≤10um; Warp ≤10um |
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Laser Mark(激光标记) |
Upon Customer's Request |
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Packaging（包装） |
百级洁净室，氮气保护，真空包装 Vacuum packed, in a class 100 clean room, under a nitrogen atmosphere |
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