产品简介
OWT-200采用PHYS独有技术,对透明、半透明、不透明几乎所有的材料的厚度,TTV,LTV,弯曲度,平整
度进行无接触测量,其对透明、半透明材料的高精度**测量的性价比在同类测试仪器中是无可比拟的。
特征
■无接触无损伤测量
■高**度及重复性
■测量材料范围广,透明、半透明、不透明几乎所有材料的
厚度/弯曲度/平整度/LTV/TTV
■抗干扰强,稳定性好
■强大的工控机控制和大屏幕显示
■一体化设计操作更方便,系统稳定
■为晶圆硅片关键生产工艺提供**的无接触测量
■超高测试速度
技术指标
■测试尺寸:50mm-200mm.
■厚度测试范围:1000 um,可扩展到1700 um
■ 厚度测试精度:+/-0.1um
■ 厚度重复性精度:0.050um
■ TTV 测试精度: +/-0.1um
■ TTV重复性精度: 0.01um
■ Warp/Bow精度: 0.2um
■ Warp/Bow重复度: 0.5um
■测量时间: ■ 材料:透明、半透明、不透明几乎所有的材料
■ 尺寸: 560X650X400mm
■ 电源:220V 50HZ 300W
主要客户:欧洲、美洲、台湾等地区蓝宝石生产企业
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