真空电子束光学镀膜机:
全自动光学镀膜设备配置有扇形多片夹具或拱形单工件盘,利用人机界面触摸屏+PLC与全自动晶振膜厚仪构成全自动控制系统,可以实现参数录入、过程监控及数据存储等功能,可设定工艺流程并自动执行,使镀膜膜层重复性、光学性能稳定性有质的提高,解决了人工手动操作复杂性、膜层颜色、光学性能不一致等问题。
光学镀膜设备可镀制层数较多的短波通、长波通、增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜、彩色反射膜等各种膜系,能够实现0-99层膜的膜系镀膜,也能满足如汽车反光玻璃、望远镜、眼镜片、光学镜头、冷光杯等产品的镀膜要求。配置不同的蒸发源、电子枪和离子源及膜厚仪可镀多种膜系,对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀,并可在玻璃表面超硬镀膜。
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