FF-1600复合分子泵
FF-1600 复合分子泵主要性能特点:
1.高极限真空
独特的整体加工转子,可运转于更高的工作转速,提高了泵的极限真空。
2.大抽速
复合分子泵是由涡轮级和牵引级复合而成,从而提高了泵的抽速。
3.高压缩比
转子独特的螺旋槽式牵引级使泵具有高的压缩比和耐粉尘能力。
4低噪音
采用高精度球轴承,动平衡好,对轴承的磨损小,轴承寿命长,整机振动小,噪音低。
5.清洁无油
分子泵是靠动叶片和定叶片的相对运动抽除、拖动、传输气体分子排出,因此可获得清洁无油的高真空和超高真空。
6.节能
由于整体转子比分体转子轻,因此电机负载小,消耗功率小,可以运行更高的转速。
FF-1600 复合分子泵用途:
主机
进气口通径 DN250mm
排气口通径 KF40mm
抽气速率 1600L/s
极限压强 5×10-7Pa (金属密封) 5×10-6Pa (橡胶密封)
FF-1600复合分子泵广泛地应用于光谱仪器、电子显微镜、检漏仪、表面物理和分析仪器、质谱仪;FF-1600复合分子泵真空镀膜行业、显像管生产、半导体制造业、等离子刻蚀等领域。
压缩比 N2:108 H2:4×103
电机转速 24000r/min
启动时间 <10min
润滑油量 260ml
冷却方式 水冷
冷却水耗量 90L/h
冷却水温度 <24℃
安装位置 垂直
FF-1600 复合分子泵
电源*功率输入 1 KW
输出电压 120V(峰值)
输出频率 400Hz+10Hz
启动电流 5A
工作电流 2A
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