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型号规格 |
SYS50A / SYS50B |
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激光波长 |
1064nm |
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划片精度 |
±10μm |
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划片线宽 |
≤50μm |
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激光重复频率 |
200Hz～50KHz |
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**划片速度 |
120mm/s |
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激光功率 |
50W |
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工作台幅面 |
350mm×350mm |
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使用电源 |
380V（220V）/ 50Hz/ 3.5KVA |
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冷却方式 |
循环水冷 |
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工作台 |
双气仓负压吸附，T型台双工作位交替工作 |
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