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规格（mm)
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测量面对基面垂直度
（um）
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测量面平面度或直线度
（um）
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基面平面度或直线度
（um）
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精度等级
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00
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0
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00
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0
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00
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0
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100×63
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2
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4
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1
|
1
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1
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1
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160×100
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2
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4
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1
|
2
|
1
|
1
|
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250×160
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2.5
|
5
|
1
|
2
|
1
|
2
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400×250
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3.5
|
7
|
1
|
2.5
|
1
|
2
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630×400
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4.5
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9
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1.5
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3
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1
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2.5
|
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800×500
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5
|
10
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2
|
4
|
1.2
|
3
|
|
1000×630
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6
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12
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2.5
|
5
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1.5
|
3
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