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BOMB-IV系列偏压电源工作于高频二级变换模式,正负双极性脉冲、反向单极性脉冲、 | |
正向单极性脉冲三种输出方式。电源的正负电压独立调整,频率及占空比独立调整。因输出 | |
具备双极性特征,可预前抑制工件表面积累电荷造成的打火现象,并改变膜层沉积规则,对 | |
膜层颜色有一定调节作用。电压与占空比分开调整,可实现高压低温沉积,电源适用于温度 | |
敏感元件、特殊颜色膜层制作及工艺开发等多种应用环境。 | |
电源功率范围 | 10-80KW[不包括副电源] |
输入电源 | AC380V三相四线制50-60HZ±10% |
输出方式 | 双极性脉冲/反向单极性脉冲/正向单极性脉冲 |
输出电压 | 0-500V 0-1000V[主电源,脉冲输出时为峰值电压] |
脉冲频率 | 1-20KHz |
脉冲百分比 | 正反互补 10-90%连续调节 |
a副电源功率 | 6KW/12KW |
a副电源输出电压 | DC0-100V |
输出电压稳定率 | 1%[电阻性负载] |
冷却方式 | 10-60KW风冷 60-80KW水冷 |
使用环境 | 环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85% 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
冷却水 | 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa |
通讯方式 | 模拟/RS485/RS232 |
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
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