采用精密聚焦指示器,能够将图像清晰定位 一:有效量程:100*50*30 (X/Y/Z轴)RSF光栅尺测量系统 二:理论精度1微米,实测精度3微米,具体可调 三:使用表面光测量, 四:可眼睛也可相机观察,配专业的测量软件,可实现各种测量功能。 五:日本中央精机长工作距离物镜 5X 10X 20X 50X,此标配物镜,具体可根据客户要求配备 日本Union HISOMET DHII高精度非接触深度测量显微镜 采用光学和非接触方法探测焦距的方法,测量不会给样品造成变形或划痕等影响,这些往往是采用物理性接触测量时产生的。基于目标分光方法原理的精密聚焦指示器的应用,以简单地把两个目标标志部分重合起来进行高精度的测量. 功能: 非接触测量微细的撞击、台阶等。 ◎通过高精度的光学聚焦点检测和**的聚焦指示器完成高**的测量 ◎简单的操作 ◎Z轴测量行程可从几个μm到25mm ◎同时还可以完成测量点的表面观察HISOMET系列工具显微镜为一专业X、Y、Z轴座标测量显微镜,X、Y工作台行程由100*200mm到大行程500*500mm,放大倍数由5至1000×。为求提高工件在Z轴深度/高度测量时的精度,Z轴对焦采用一专利光学“裂像指示器”,结合精密的Z轴“Cross Roller Bearing”导轨,可测范围25 mm,测量误差1μm 技术规格: 型号 :DHII 工作台行程:100*200mm/150*300mm/500*500mm 3轴测量范围:25mm/25mm/25mm 三轴分解度:0.001mm Z轴读数装置:ID-F内置数显表/外置数据处理系统 反射照明系统:内置8V-15W钨丝灯/外置冷光源 标准目镜 :10X 标准物镜 :10X 读数系统DRO200S简易坐标读数器/QC200多功能数据处理器/QC5000测量软件电脑系统 具体配置可以根据客户需求配备,详情请咨询或pre>
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