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质量流量控制仪质量流量计高品质量流量CVD配件

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质量流量控制仪质量流量计高品质量流量CVD配件

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企业信息

郑州科探仪器设备有限公司

实名认证企业认证

成立年份：

2015年

经营模式：

贸易商

企业类型：

企业单位

主营产品：

机电设备及配件，仪器仪表（不含医用），阀门，管件，五金交电,工业电炉,实验室,真空配件腔体,管式炉,箱式炉,PECVD,真空法兰,质量流量计,气体配比器,搭建CVD供气系统,非标定制

公司地址：

河南省郑州市中原区电厂路国家大学科技园创新园6号楼K座3层

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产品介绍

加工定制

：

是

型号

：

质量流量计

类型

：

质量流量计

测量范围

：

2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,

精度等级

：

±0.2% FS

公称通径

：

详询

适用介质

：

气体

工作压力

：

详询

工作温度

：

5-45

规格

：

详询

有效期至

：

长期有效

最后更新

：

2021-06-30 14:27

浏览次数

：

499

高精度快速响应质量流量控制仪质量流量计高品质量流量CVD配件

用途和特点
质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行测量；质
量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其使用方便,可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制

：
手机/：
人：李工
QQ:760625767

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质量流量控制仪 质量流量计 高品质量流量CVD配件

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