直线电机平台>>特点
模块化设计, 可选择装备无铁芯电机或铁芯电机
双重线导轨或滑轨系统
四种型号 ( DGL 140, 150, 180, 200 )
行程可从100mm到3000mm
直接驱动, 无背隙和无嵌齿效应
模块的设计配备编码器
编码器的高分辨率有 5um, 1.0um或0.1um
速度可达5m/s，加速度可达10G
| 性能参数 | 单位 | 参考值 |
| 加速度 | G | 10 |
| 速度（分辨率为1μm） | m/s | 5（40μm光栅距和20MHz计数频率） |
| 速度（分辨率为0.5μm） | 2.5（20μm光栅距和20MHz计数频率） | |
| 速度（分辨率为0.1μm） | 1.3（20μm光栅距和20MHz计数频率） | |
| 速度（模拟量编码器） | 8（40μm光栅距和200KHz输入频率） | |
| 4（20μm光栅距和200KHz输入频率） | ||
| *直线度 | μm | ±3μm/25mm，NTE±8μm/300mm |
| *平面度 | ±3μm/25mm，NTE±8μm/300mm | |
| 重复精度（分辨率为1μm） | ±3μm（40μm光栅栅距） | |
| 重复精度（分辨率为0.5μm） | ±1.5μm（20μm光栅栅距） | |
| 重复精度（分辨率为0.1μm） | ±1μm（20μm光栅栅距） | |
| 重复精度（模拟量编码器） | ±5counts |
*所有的测量数值基于模组安装在平面度为5um的花岗岩台面上。
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