集成热压阻共振悬臂梁，**可变换，成像时间 少于1分钟（无需激光对准）；热距离传感器可在数秒内自动化完成针尖靠近；热电MEMS驱动器高精移动悬臂针尖，具有低漂 移，适应长时成像实验；系统高度集成小巧，具有极强的振动免疫性，可 在任意平面上直接测量，无需隔震；氧化铝针尖具有超长使用寿命，可连续成像超过 10000张。
nGauge应用方向
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技术参数
nGuage AFM参数
**扫描范围（XYZ） | 20umx20umx10um |
XY扫描分辨率 | <0.5nm |
XYZ驱动方式 | 电热法 |
传感器 | 压阻 |
动态RMS噪声 | <1nm |
成像模式 | 间断接触，动态AFM |
扫描速度 | >8lines/s |
硬件参数
系统尺寸 | 70mmx90mmx75mm |
载物台尺寸（XY） | 70mmx43mm |
Z轴行程 | 20mm |
驱动方式 | 步进电机 |
系统重量 | 450g |
隔震装置 | 无需额外隔震装置 |
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