苏州EVOTECH专注于高精度测量专用运动平台的开发、设计和生产，公司的核心产品—EVO系列测量平台，针对性匹配Keyence多种精密测量模块，基于光学、机械、电气和软件的一体化集成，实现了大尺寸样品的多种形貌特征的便捷测量。
EVO系列测量平台可配置多种光电测量模块，集成二维平面图形、三维形貌特征以及表面粗糙度等多种测量功能。测量特征尺寸覆盖了亚微米级至厘米级的宽泛范围。广泛应用于PCB印制电路板、HDI电路板、平板显示、光学薄膜和半导体光刻等生产和研发领域。
项目 | 部件 | 基本参数 | |
指定配套 | VHX显微镜 | 镜头Z20T，带镜头固定圈VHX-J20T。主机 VHX7000， | |
包括部件 | 1.XY运动平台 | 电动。 XY行程200mm*150mm。 XY轴直线度优于15um。 XY轴垂直度优于20um。 台面尺寸250mm*200mm，采用黑色阳极氧化铝合金板材。 | 步进电机+滚珠丝杆驱动，配有光栅尺检测位置。光栅尺分辨率1um，线性度优于10um。 最小定位步距≤10um。 **移动速度25mm/s 。 平台移动，可由USB手柄操作，速度多级可调。也可由软件界面的按钮操作。 |
2 倾斜观察 | 手动。范围-60度~90度。 | 可在任意角度锁死，稳定性好。 | |
3 镜头升降 | 电动。升降范围≥40mm | 步进电机+梯形丝杆驱动。可锁紧防抖。 | |
4 测量软件 | 实现跨视场测量，精度优于20um。 功能包括：单点XY坐标记录；2点距离；1点到直线（2点）的距离；3点确定圆心和半径等。 | 软件安装在VHX主机上。 |
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