发现洁净气体管道有泄漏时，首先对所用接头做如下检查
（1）接头配合垫片是否合适，退火及无伤痕；
（2）接头密合处是否干净平滑无污物；
（3）接头配合装配时，是否相互对准对正；
（4）能否先用手将接头大体上紧。
如上述检查无异常，再用扳手（一般为两把）将接头上紧。上紧时应注意压力要适当，对于有塑料、橡胶、聚四氟垫片的接头压力不宜过大，一般能密封后再上紧一点即可；对于有金属垫片的接头，压力可适当加大，但也应以不漏气为界限。
1、外在的纯净,有别于传统不锈钢管道内外表面灰蒙蒙,凹凸不平的感觉,现在的超纯气体管道不仅有锃亮的外表,同时也有较好的内表面粗糙度, 以确保管道系统对传输的介质保持中立以及保证的彻底吹扫及清洗性能, 现在工程师及技术人员常常提及的表面粗糙度Ra 值就是对管道系统内表面粗糙度的基本要求。为了确保自动轨道焊接的质量和效率,尺寸公差当然也是最基本的要求。
2、内在的纯净指纯净的材质:真正意义上的超纯,气体管道仅有漂亮的内外表面是远远不够的,对管道系统的材质也有非常苛刻严格的要求,无论对化学成分和机械性能都有一定的定义。所以我们提到的纯净管道是由纯净的316L制成,指不锈钢中的不纯物尽量降到一定范围内,非金属夹杂物以及气体成分控制在最小极限，而高纯洁净管的级别可分为BA和EP级，超高纯电子特气管道系统用的一般是316LEP级的不锈钢管，就是电解抛光不锈钢管。
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