轮廓仪——表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度测量

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Subnano 轮廓仪

  NanoX-2000/3000系列、3D光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量(PSI)、白光垂直扫描干涉测量(VSI)和单色光垂直扫描干涉测量(CSI)等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性(稳定性)定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。

  产品优势

  美国硅谷研发的核心技术和系统软件

  关键硬件采用美国、德国、日本等**品牌

  PI纳米移动平台及控制系统

  Nikon干涉物镜

  NI信号控制板和Labview64 控制软件

  TMC光学隔振台

  测量准确度重复性达到世界****(中国计量科学研究院证书

产品参数：

n  测量模式        移相干涉（PSI），白光垂直扫描干涉（VSI），单色光垂直扫描干涉（CSI）

n  样 品 台        150mm/200mm/300mm样品台（可选配）

                    XY平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，倾斜：±5°

                    可选手动/电动样品台

n  CCD相机像素    标配：1280×960

n  视场范围        560×750um（10×物镜）

                    具体视场范围取决于所配物镜及CCD相机

n  光学系统        同轴照明无限远干涉成像系统

n  光    源        高效LED

n  Z方向聚焦      80mm手动聚焦（可选电动聚焦）

       n  Z方向扫描范围  精密PZT扫描(可选择高精密机械扫描，拓展达10mm )

n  纵向分辨率      ＜0.1nm

n  RMS重复性*     0.005nm，1σ

n  台阶测量**              准确度 ≤0.75％；重复性 ≤0.1%，1σ

n  横向分辨率              ≥0.35um（100倍物镜）

n  检测速度                   ≤ 35um/sec , 与所选的CCD和扫描模式有关

应用实例：

上海分公司

地址: 上海市浦东金高路 2216 弄 35 号6 幢 306-308 室

电话: (021) 3861 3675，3861 3676

卜先生:  xppu@dymek.com

东莞分公司

地址: 东莞市南城街道宏六路一号国金大厦401室

电话: (0769) 8981 8868，22423308

唐**：cptang@dymek.com

北京分公司

地址: 北京市房山区长阳镇启航国际3期5号楼801

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贾先生: williamjia@dymek.com

岱美有限公司成立于****年，是数据存储，半导体，光学，光伏和航空航天行业**制造商和创新研发机构的**设备分销商。在21世纪初期，Dymek已从我们在**的总部扩展到亚洲，以满足客户的多样化需求。在当今全球化的市场中，我们的客户有连接东南亚各国的综合供应链已经成为基本。我们我们的专业人员随时准备与他们会面。

我们总部设在**，在中国（北京和上海，以及广东东莞）拥有强大的业务。我们还在马来西亚，新加坡，台湾，菲律宾和泰国的东南亚设有分支机构。我们所有的分支机构都已建立数十年，我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。

我们的目标是建立持久的关系，满足东南亚快速增长企业的需求。对于我们的客户，我们不仅提供设备，还提供建议和技术指导，以及时了解我们不断发展的行业的**发展。对于我们的供应商，我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲，美国，日本和韩国的**设备连接起来。

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