光触媒设备是通过光催化氧化反应净化消除挥发性有机气体，利用让太阳光或其他一定能量的光照射光敏半导体催化剂时，激发半导体的价带电子发生带间跃迁，即从价带跃迁到导带，从而产生光生电子(e-)和空穴(h+)。此时吸附在纳米颗粒表面的溶解氧俘获电子形成超氧负离子，而空穴将吸附在催化剂表面的氢氧根离子和水氧化成氢氧自由基。而超氧负离子和氢氧自由基具有很强的氧化性，能使有机污染物氧化至最终产物CO2和H2O。
等离子设备是利用等离子体有机气体净化器采用高压发生器形成低温等离子体，利用脉冲电晕放电产生的高能电子、离子、自由基和中性粒子以每秒钟300万次至3000万次的速度反复轰击发生异味的分子，去激活、电离、分解工业废气中的各组分，使之发生氧化等一系列复杂的化学反应，对有害气体进行氧化、降解，使VOCS转化为无害物质。
两者特点都是不需要再生处理原料，不产生二次污染，更换及维护保养方便，占地面积和系统阻力损失较小，但净化效率相对较低，一般情况下＜60%，通常适合在污染物浓度较低的场合使用。
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