| 安捷伦 70 L/s 涡轮分子泵 TwisTorr 74 FS 将 TiwsTorr 拖动级技术和安捷伦悬浮轴承技术相结合，具有高性能、高可靠性及经济性。这款 70 L/s 涡轮分子泵借助涡轮增压技术与创新的 TwisTorr 拖动级技术之间的协同作用，可提供高真空性能。悬浮轴承确保低振动和低噪音，适用于高灵敏度仪器和工作环境。 | |||||
| 这款小型涡轮泵**适用于多种应用，包括研发、UHV 系统、核研究和电子显微镜。 | |||||
| TwisTorr 74 FS 可提供一体式控制器或机架控制器。 | |||||
| 特性 | |||
| 创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体能提供高压缩比，而非常小巧的转子设计则实现了高性能和最小的系统占用空间。 | |||
| 高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。 | |||
| 安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动，低噪音，最佳的轴承工作条件，延长泵的使用寿命，实现使用维护成本优化，HEN大程度减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。 | |||
| 独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。 | |||
| 抽速 | KF40 | CFF 2.75" | ISO 63 | CFF 4.5" |
| N2 | 44 L/s | 50 L/s | 60 L/s | 60 L/s |
| He | 33 L/s | 40 L/s | 54 L/s | 54 L/s |
| H2 | 28 L/s | 31 L/s | 42 L/s | 42 L/s |
| Ar | 40 L/s | 51 L/s | 59 L/s | 59 L/s |
| 最高气体通量 (*) | 风冷 | 水冷 | ||
| （环境温度 35 °C） | （水温 25 °C/环境温度 35 °C） | |||
| N2 | 130 sccm | 130 sccm | ||
| Ar | 80 sccm | 80 sccm | ||
| (*) 前级泵 5 m3/h | ||||
| 压缩比与前级耐压 (**) | ||||
| N2 | 1.0 × 109 | > 12 mbar | ||
| He | 2.0 × 105 | > 10 mbar | ||
| H2 | 1.0 × 104 | > 04 mbar | ||
| Ar | > 1.0 × 109 | > 14 mbar | ||
| (**) 前级耐压是指涡轮分子泵仍能产生 100 压缩比的压力，该压力在水冷模式下估算得出 | ||||
| 极限真空（使用推荐的前级泵） | < 5 × 10-10 mbar | |||
| < 3.75 × 10-10 Torr) | ||||
| 抽气口法兰 | KF 40、ISO 63、CFF 4.5”、CFF 2.75” | |||
| 前级管道法兰 | KF 16 NW | |||
| 转速 | 70000 rpm（1167 Hz 驱动频率） | |||
| 启动时间 | < 2 分钟 | |||
| 推荐的前级泵 | Agilent DS 40M/DS 102 旋片泵 | |||
| Agilent IDP-3/IDP-7 涡旋式干泵 | ||||
| 操作位置 | 任意位置 | |||
| 操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 空气相对湿度 | 0%–90%（无冷凝） | |||
| 烘烤温度 | 在入口法兰处，ISO 为 80 °C（CFF 为 120 °C） | |||
| 润滑油 | 永久性润滑 | |||
| 冷却要求 | ||||
| 风冷 | 加压空气冷却（环境温度 5–35 °C） | |||
| 气流温度 +5° C 至 +35 °C | ||||
| 水冷 | 水温 +15 °C 至 +25 °C 水流速最低 65 L/h | |||
| 噪声声压级（全速运行时距离 1 m 处） | 40 dB(A) | |||
| 储存温度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
| 最高海拔 | 3000 m | |||
| 重量 kg（磅） | ISO 63 | 2.05 (4.50) | ||
| CFF 4.5” | 3.50 (7.70) | |||
| CFF 2.75” | 3.34 (7.35) | |||
| KF 40 | 2.37 (5.22) | |||
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