质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。
特点
• 高精度，快响应型• 橡胶密封、模拟电路的MFC• 采用DB15型电插头，国际标准机械接头• 国际兼容
技术参数
项目 | D07-19B | D07-19BM | D07-19F | D07-19FM 型 |
流量规格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM |
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | 0~1,2,3,5,10,20,30 SLM | |
准确度 | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) |
线性 | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.) |
重复精度 | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. | ±0.2 % F.S. |
响应时间 | ≤2 sec | ≤2sec | ≤4 sec | ≤4 sec |
工作压差范围 | ≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid) | - | ≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid) | - |
气压降 | - | <0.02 MPa (2.9 psid) | - | <0.02 MPa (2.9 psid) |
最大工作压力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
耐压 | 3 MPa (435.1 psig) | 10 MPa (1450.4 psig) | 3 MPa (435.1 psig) | 10 MPa (1450.4 psig) |
工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 4~20 mA 或 1~5 VDC | 4~20 mA 或 1~5 VDC |
电源 | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA | 24 VDC 100 mA | 24 VDC 100 mA |
重量 | 0.95 kg | 0.7 kg | 1.2 kg | 1 Kg |
产品用途
气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加
该气体配比器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体和控制的场所
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