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尺寸适用范围：小样片及6英寸以下圆片传片方式：手动类型：台式，常压保护气氛快速退火系统温度适用范围：100 ~ 800 °C 或 450 ~ 1250 °C气路配置：根据客户需求配置MFC量程，*多可配备6路
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尺寸适用范围：小样片及8英寸以下圆片传片方式：手动类型：台式，常压保护气氛快速退火系统温度适用范围：100 ~ 800 °C 或 450 ~ 1250 °C气路配置：根据客户需求配置MFC量程，*多可配备4路
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尺寸适用范围：小样片及8英寸以下圆片传片方式：手动类型：柜式，常压保护气氛快速退火系统温度适用范围：100 ~ 800 °C 或 450 ~ 1250 °C气路配置：根据客户需求配置MFC量程，*多可配备5路
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尺寸适用范围：小样片及6英寸以下圆片传片方式：手动类型：台式真空快速退火系统温度适应范围：100 ~ 800 °C 或 450 ~ 1050 °C气路配置：根据客户需求配置MFC量程，*多可配备3路
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