控温方式 | 数字式功率调整器 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
功率 | ≤800W |
输出电压电流 | 电压≤10V 电流≤80A |
真空度 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
挡板类型 | 电控 |
样品室 | 石英腔体φ160mm x 160mm |
样品台 | 可旋转φ62 （*大可安装φ50基底） |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品热源调节距离 | 70-140mm |
蒸发温度调节 | ≤1600℃ |
蒸发坩埚容积 | 3ML |
真空法兰 | KF25抽气口 KF25扩展口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
可选配扩展 | 1 膜厚在线测试 2 分子泵 |
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