中小型厂家直销湘潭宏锋机械多弧离子PVD真空镀膜工具磨具硬质涂层镀膜机
· 整体结构：立式前开门，卧式前开门，后置真空获得系统
· 材质用料：腔体采用优质SUS304不锈钢材质
· 离子弧源：依据设备大小不同配备多套弧电源系统
· 偏压电源：配备大功率单级脉冲偏压电源
· 多弧靶材：标配多套钛靶或不锈钢靶材
· 转动系统：变频调速，公自转结合，可采用上传动或下传动方式
· 真空系统（装饰镀膜设备Decorative coating):扩散泵（可选分子泵）+罗茨泵+机械泵+维持泵+深冷系统（可选）真空系统（超硬质工具镀膜Tooling coating):分子泵+罗茨泵+直联泵（进口）+维持泵+可选深冷泵
· 气体控制：多路气体质量流量控制系统
· 加热系统：装饰镀膜350℃温控PID可调可控制，超硬质工具镀膜550℃温控PID可调可控。
· 智能控制：PLC智能控制+HMI全彩儿儿触控界面，实现逻辑全自动控制
· 报警及保护：异常情况进行报警，并执行相应保护措施。
其他技术参数：
极限真空：5.0×10-4Pa
抽气速率：5.0*10-2≤5min
水压流速≥0.2Mpa 3m3/h;水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa;备注：
一般规格：
D1000*H1100,D1400mm*H1600mm,1800mm*H2000mm
真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做
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