白光干涉仪参数

光学轮廓测量仪采用的非接触式测量方法具有测量精度高、分析功能强大、测量参数齐全以及使用方便等优点，加上其独特的光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。

中图仪器的SuperViewW系列白光干涉仪能够以优于纳米级的分辨率，以非接触式测量样品表面形貌，主要用于表面形貌纹理，微观结构分析，广泛应用于材料，光学，半导体，精密机械等等领域。

产品特点

1.双通道气浮隔振系统大幅减小了环境振动的影响，还可以降低高精度量测时的噪声，提高超光滑表面的测试精度。

2.一体化操作的测量分析软件自动对焦样品表面，自动智能配置测试参数，使原来麻烦的“找条纹”，“选择测试参数”过程，在一分钟之内，自动完成。

3.双重防撞保护功能，除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，能保护样品和设备的安全。

SuperViewW系列白光干涉仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可以用于测试各类表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于测试直至****反射率的各类高反表面。

技术参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-****

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

SuperViewW系列白光干涉仪集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI，单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型，其独特的3D重建算法，自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合测量精度可达亚纳米级别，让3D测量变得简单。