可实现高速、高精度的3D检查、面向SMT市场的泛用型光学式外观检查装置
通过追加配备同轴照明、5μm镜头，还可对应设备市场领域的高精度检查
1、更高速、高精度的检查
更高速3D检查 56.8cm2/s
更高精度3D检查 8方向投影装置
4方向斜视图像检查 2000万像素的4方向斜视相机
设备检查 高水准分辨率5μm/同轴照明
2、支持半导体领域的检查
3、强化基板传送能力
4、有效利用AI的新软件解决方案
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