产品特点:
◆ 5-20毫秒的响应时间
◆ 六个角度方向自由防震
◆ 紧凑、模块化的多功能设计,模块化可扩展
◆ 无低频共振并没有空气要求
◆ 提供**的低频段隔振能力
◆ 主动防震1Hz - 200Hz,被动防振频率 >200Hz ◆ 无电磁干
◆ 与LFS-3低频传感器搭配后,AVI系列主动减振设备可以降 低到0.7Hz的隔离频率
技术参数:
应用领域
•扫描电子显微镜(SEM)
•透射电子显微镜(TEM)
•扫描隧道显微镜(STM)
•扫描探针显微镜(SPM)
•核磁共振仪
•干涉仪
•轮廓仪
•光谱仪
•显微镜(SNOM)微纳米硬度检测仪
•光刻机
•还有更多!
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