ZNX超***电容位移传感器是一种基于电容测微原理的非接触式位置测量系统。 两个传感器板，一个目标和一个探头，形成一个平行板电容器。 可以使用适当的电子控制器测量这两个板的间距。 可以实现***小至 7 皮米 (RMS) 的分辨率。 我们的标准产品提供 20um 至 1250um 的测量范围，频率响应高达 5KHz，线性度低至 0.02%。高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以限度地减少位置漂移。
CC-A-4101控制器是用于驱动 ZNXSensor 系列的单通道独立电子模块。 它通过测量平行板电容器的电容变化来工作，并输出与ZNXSensor 间隙成正比的模拟电压。 当传感器间隙从标称间隙的 50% 变化到 150% 时，电压输出在 -5V 和 +5V 之间线性变化，此比例可由用户设置。
- 技术规格-
ZNX超***电容位移传感器技术规格：
传感器型号 | ZNXB | ZNXC | ZNXD |
小量程μm | 20 | 100 | 250 |
灵敏度μm/V | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
温漂nm/K | 1 | 4.4 | 11 |
线性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
大量程μm | 100 | 500 | 1250 |
灵敏度μm/V | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
温漂nm/K | 3 或 230 | 3 或 230 | 3 或 230 |
线性度% | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
工作温度 | +10～+50℃（控制器）；-273～+80℃（探头） | ||
存储温度 | 0～+70℃ | ||
相对湿度 | 5～95%（无冷凝） | ||
频响Hz | 50/500/5000 |
控制器型号 | CC-A-4101 |
传感器通道个数 | 1 |
供电 | ±15V，75mA |
模拟输出V | ±10 |
数字输出 | |
尺寸mm | 218 x 77 x 34 |
频响Hz | 100 or 1k or 10k |
◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。
- 主要特点-
ZNX超***电容位移传感器特点：
(1)、量程20～1250μm； 分辨率<0.1nm；线性0.02%；
(2)、对位置的尺度变化非常敏感，***测量到皮米级位移变化；
(3)、可调谐以满足应用要求；
(4)、***，线性度可至0.02%FS；
(5)、高热稳定性结构（提供超殷钢、微晶玻璃和陶瓷选项）材料选择以限度地减少位置漂移；
(6)、适用于各种应用并适应各种环境挑战，可用于真空，***低温，强辐射。
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