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上海伯东代理美国原装进口 KRI 射频离子源 RFICP 140

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产品
上海伯东代理美国原装进口 KRI 射频离子源 RFICP 140
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企业信息
伯东企业(上海)有限公司
实名认证 企业认证
成立年份:
1995年
经营模式:
贸易商
企业类型:
企业单位
主营产品:
氦质谱检漏仪销售维修,涡轮分子泵销售维修,真空计销售维修,高低温测试机,真空阀门,水汽深冷泵,冷冻机,质谱分析仪,考夫曼离子源,旋片泵,罗茨泵,干泵
公司地址:
上海浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室
联系方式
电话:
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传真:
021-50461490
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13918837267
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QQ:
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ec@hakuto-vacuum.cn
地址:
上海浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室
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产品介绍
加工定制
型号
RFICP 140
有效期至
长期有效
最后更新
2023-08-22 11:25
浏览次数
44

射频离子源 RFICP 140

KRI 射频离子源 RFICP 140上海伯东代理美国原装进口 KRI 射频离子源 RFICP 140 是一款紧凑的有栅极离子源, 非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子束刻蚀. 在离子束溅射工艺中,射频离子源 RFICP 140 配有离子光学元件, 可以很好的控制离子束去溅射靶材, 实现更佳的薄膜特性. 同样的在离子束辅助沉积和离子束刻蚀工艺中, 离子光学元件能够完成发散和聚集离子束的任务. 就标准的型号而言, 可以在离子能量为 100~1200 eV 范围内获得很高的离子密度. 可以输出 600 mA 离子流.射频离子源 RFICP140

KRI 射频离子源 RFICP 140 技术参数:

阳极

电感耦合等离子体
1kW & 1.8 MHz
射频自动匹配

阳极功率

1kW

离子束流

> 500mA

电压范围

100-1200V

离子束动能

100-1200eV

气体

Ar, O2, N2,其他

流量

5-40sccm

压力

< 0.5mTorr

离子光学, 自对准

OptiBeamTM

离子束栅极

14cm Φ

栅极材质

钼, 石墨

离子束流形状

平行,聚焦,散射

中和器

LFN 2000

高度

25.1 cm

直径

24.6 cm

锁紧安装法兰

12”CF

KRI 射频离子源 RFICP 140 应用领域:预清洗表面改性辅助镀膜(光学镀膜)IBAD,溅镀和蒸发镀膜 PC离子溅射沉积和多层结构 IBSD离子蚀刻 IBE1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源总代理.

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗女士                            台湾伯东: 王女士

T: +86-21-5046-3511 ext 108           T: +886-03-567-9508 ext 161

F: +86-21-5046-1490                       F: +886-03-567-0049

M: +86 152-0195-1076                      M: +886-939-653-958

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工商信息*以下内容来自第三方启信宝提供
法定代表人
近藤聡(KONDO SATOSHI)
经营状态
存续
注册资本
1550 万美元
实缴资本
800 万美元
统一社会信用代码
913101156073328291
组织机构代码
607332829
企业注册号
310115400032917
企业类型
有限责任公司(外国法人独资)
登记机关
自由贸易试验区市场监督管理局
成立日期
1995年12月01日
营业期限
1995年12月01日--2045年11月30日
核准日期
2021年04月15日
注册地址
中国(上海)自由贸易试验区基隆路89号10层1018-1020室
经营范围
许可项目:危险化学品经营。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:电子接插件、线束和印刷电路板、传真机、复印机、照相机、扫描仪用石英玻璃、化学品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、化妆品、塑料、橡胶及其制品、木浆及其他纤维状纤维素浆、纸及纸制品、陶瓷制品、纺织原料、玻璃及其制品、金属材料及其制品、精密仪器、机械设备、音像设备及其零配件、光学摄影设备及其零配件、照明器具、计算机、软件及辅助设备、电子元器件、电子产品及其零配件、集成电路芯片及其产品、半导体分立器件、半导体器件专用设备及其零配件的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务;精密仪器、设备的维修;区内仓储业务(除危险品);国际贸易、转口贸易、区内企业间的贸易及区内贸易代理;区内商业性简单加工;区内贸易咨询服务;从事电子科技、信息科技领域内的技术服务、技术咨询、技术开发、技术转让。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)