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一、产品简介： 该设备ZYG1700-100是一款小型的双温区管式炉；真空系统搭配机械泵+分子泵真空度可达6.67*10-4pa，根据客户的实际需求，安装有4路进气口，为了更**的控制进气的精度在每一路进气安装有质量流量计，量程分别为；安装有混气系统与设备分开单独控制，操作起来更为方便； 采用真空吸附成型的高纯氧化铝纤维炉膛保温部分采用硅酸铝浇铸纤维真空浇注模块，热效率高，轻、薄、节能、施工简捷；加热元件采用U型硅钼棒，有效保证了较好恒温区和温度均匀度；炉管采用耐高温的高纯刚玉管管子的尺寸为：φ100*1400mm、有效温区为：φ90*400mm，加热区为：φ90*700mm；；法兰采用水冷密封结构使用310S的不锈钢材料无缝满焊而成；法兰的水为上进下出，接口为φ8的卡套式接头；可有效保证设备能够长期高温使用，有效避免了高温状态下密封圈形变漏气等隐患；进气口为设备的左侧，在左侧法兰上；排气阀、真空泵、尾气燃烧装置的位置在设备的右侧法兰上；采用PID温控调节，使炉温控制精度达到±1℃；搭配全自动控制系统，所有温度系统、真空系统、气路系统均集成于触摸屏及PLC内；客户只需一键启动即可;此款设备可做CVD气象沉积，硅碳包覆，退火，烧结等工艺；被高校、科研院所、工矿企业广泛用于材料或化学实验室在真空或保护气氛状态下烧结各种新材料样品； |
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二、主要技术参数： |
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产品名称 |
CVD管式炉 |
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产品型号 |
ZYG1700-100 |
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*高温度 |
≤1600℃ |
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工作温度 |
RT-1600℃ |
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管子尺寸 |
Φ100*5*1400mm（直径*壁厚*长）；如果更小或更短的管子能满足客户的需求，建议使用：φ80/φ60*1400mm的刚玉管或者φ80/φ100*1200mm的刚玉管；这样断裂的风险会大大降低； |
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恒温区尺寸 |
Φ90*400mm（直径*长） |
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温区个数 |
双温区（两点控温） |
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加热元件 |
U型硅钼棒 |
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炉管材质 |
高纯刚玉管 |
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流量计 |
质量流量计（北京七星华创） |
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温控仪表 |
日本山武 |
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PLC |
西门子 |
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触摸屏 |
昆仑通态 |
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冷水机 |
1P冷水机 |
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真空系统 |
搭配机械泵（宁波鲍斯）+分子泵（世纪久泰），真空度可达6.67*10-4pa |
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可通气氛 |
还原性气体和惰性气体 |
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保温材质 |
高纯氧化铝多晶纤维部分选用硅酸铝浇铸纤维真空浇注模块 |
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温控系统 |
PID调节、自整定功能； |
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测温方式 |
B型热电偶（铂铑） |
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控温精度 |
±1.0℃ |
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升温速率 |
≤20℃/min（推荐升温≤10℃/min） |
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温场均匀度 |
±5° |
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*大功率 |
20KW |
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工作电源 |
AC 380V Single- Phase，50/60 Hz |
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