目前高熵合金靶材的制备方法主要有两种:主要是特熔法和粉末冶金法。特殊冶炼方法是将一定比例的合金原料熔炼，然后将合金液注入模具，形成铸锭，再通过机械加工成靶材，真空铸造。常用的熔炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等。优点是杂质含量低、密度高、尺寸大。
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