| 参数项 | 技术指标 |
|---|---|
| 测量行程（X/Y/Z） | 300×200×200 mm |
| 承载台尺寸 | 450×350 mm（花岗岩平台） |
| 最大工件重量 | 30 kg |
| 光学系统 | 高分辨率彩色CCD相机（500万像素） |
| 光源系统 | 独立环形LED+同轴光（无极调光） |
| 重复精度 | ≤±1.5 μm |
| 测量精度 | ≤(2.5+L/200) μm（L为测量长度，单位：mm） |
| 模块 | 技术规格 |
|---|---|
| 导轨系统 | 高精度线性导轨（THK/上银品牌） |
| 光栅尺 | 英国Renishaw/德国Heidenhain，分辨率0.1 μm |
| 变倍镜头 | 电动连续变倍，0.7X-4.5X |
| 探针系统 | 可选配接触式探针（触发式/扫描式） |
| 控制系统 | 伺服电机闭环控制，运动速度0-300 mm/s可调 |
| 功能模块 | 技术特性 |
|---|---|
| 测量功能 | 点、线、圆、圆弧、角度、距离、位置度等几何量测量 |
| 图像处理 | 自动边缘提取、亚像素处理（精度达1/50像素） |
| 编程能力 | 支持手动/自动编程，可存储≥1000组程序 |
| 数据分析 | SPC统计（CPK/PPK分析）、数据导出（Excel/PDF） |
| 3D显示 | 三维坐标系转换，支持虚拟测量平面 |
| 校准系统 | 自动/手动校准，标配标准校正块 |
| 参数项 | 技术指标 |
|---|---|
| 工作温度 | 20±2℃（建议恒温环境） |
| 湿度范围 | 30%-70% RH（无凝露） |
| 防震要求 | 振幅≤1 μm（需专用防震台） |
| 电源要求 | AC 220V±10% / 50Hz，功率≤500W |
| 行业 | 测量对象 | 精度要求 |
|---|---|---|
| 精密电子 | PCB板、连接器引脚间距 | ±2 μm |
| 模具制造 | 模仁轮廓尺寸、型腔深度 | ±3 μm |
| 五金冲压 | 钣金件孔位、形位公差 | ±5 μm |
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