上海伯东pfeiffer 四极杆质谱仪
PrismaPlusTM
新的高性能质谱仪
1.设计紧凑
PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四极质谱仪积累了丰富的应用经验,高灵敏度,高稳定性和智慧化操作的**结合是
PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固,紧凑的设计和简单的系统集成,并从中受益。
2.应用范围广阔
通过可选择质量数范围,检测器、离子源和介面介面等,该四极质谱仪可以应用于多个领域,例如:工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM
四极质谱仪是从品质保证,残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的**方案。
3.检测速度快,灵敏度高
PrismaPlusTM 四极质谱仪可
以在三个不同的质量数范围(1-100,1-200,1-300 amu)内,下至检测极限1*10-14 mbar
情况下给出**的检测结果。在真空系统中,配合有效的法拉,
第和电子倍增检测仪,即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外,直接增加一个压力量规,PrismaPlusTM
四极质谱仪就可以作为一个**的全压监控器使用。
4.智慧化的软体
Quadera
软体不仅操作简单,它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的介面介面,例如乙太网,数位式和类比式输入输出,可以方便地集成到各种系统中去。轻点滑鼠就可以启动预设的功能。
PrismaPlusTM 四极质谱仪产品优势:
1. 模组化设计提供了产品**的适应性
2. 结构紧凑,性能出众
3. 多种介面介面,系统集成简单
4. 可通过乙太网网路化
5. 测试过程快速稳定,解析度高
6. 分析器以及电子的可替换性
7. 双灯丝设计保证**的可靠性
8. **的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
9. Quadera®软体操作直观
PrismaPlusTM四极质谱仪应用领域:
PrismaPlusTM四极质谱仪非常适合于检漏,残气分析以及综合定量分析:
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺
PPrismaPlusTM四极质谱仪产品规格:
PrismaPlusTM型号 |
QMG 220 F1 |
QMG 220 F2 |
QMG 220 F3 |
|
质量数范围 |
amu |
1-100 |
1-200 |
1-300 |
四极杆直径/长度 |
mm |
6/100 |
6/100 |
6/100 |
检测极限,*小 |
mbar |
1.10-12 |
2.10-12 |
4.10-12 |
对Ar的灵敏度 |
A/mbar |
1.10-3 |
6.10-4 |
3.10-4 |
工作压力,** |
mbar |
1.10-4 |
1.10-4 |
1.10-4 |
对临近质量数的影响 |
ppm |
<10 |
<20 |
<50 |
工作温度/分析器 |
。C |
150 |
150 |
150 |
连接法兰 |
DN 40 CF-F |
DN 40 CF-F |
DN 40 CF-F |
|
重量 |
kg |
2.4 |
2.4 |
2.4 |
PrismaPlusTM 四极质谱仪产品规格
PrismaPlusTM型号 |
QMG 220 M1 |
QMG 220 M2 |
QMG 220 M3 |
||
质量数范围 |
amu |
|
1-100 |
1-200 |
1-300 |
四极杆直径/长度 |
mm |
|
6/100 |
6/100 |
6/100 |
检测极限,*小 |
mbar |
法拉第 |
5.10-12 |
1.10-11 |
2.10-11 |
|
|
C-SEM |
1.10-14 |
2.10-14 |
4.10-14 |
对Ar的灵敏度 |
A/mbar |
法拉第 |
5.10-4 |
3.10-4 |
1.5.10-4 |
|
|
C-SEM |
200 |
200 |
100 |
工作压力,** |
mbar |
法拉第 |
1.10-4 |
1.10-4 |
1.10-4 |
|
|
C-SEM |
1.10-5 |
1.10-5 |
1.10-5 |
对临近质量数的影响 |
ppm |
|
<10 |
<20 |
<50 |
工作温度/分析器 |
。C |
|
150 |
150 |
150 |
连接法兰 |
|
|
DN 40 CF-F |
DN 40 CF-F |
DN 40 CF-F |
重量 |
kg |
|
3.8 |
3.8 |
3.8 |
上海伯东主营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵;应用于各种真空环境下的真空计,氦质谱检漏仪,质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源离子枪霍尔源,美国 HVA 真空阀门,Polycold 冷冻机,离子刻蚀机等。
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗女士 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-03-567-9508 ext 161
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