偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等。主要作用包括：被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火，明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。该电源输出波形为直流。
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品名 |
偏压电源 |
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型号 |
BD系列 |
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输入 |
相数 |
三相+N |
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电压 |
380V |
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频率 |
50Hz |
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输入方式 |
4线（含零线） |
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输出 |
波形 |
脉冲 |
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功率 |
10KW~100KW（可定制） |
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电压 |
0—1200V（可定制） |
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稳定度 |
≤1% |
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电流 |
0—100A（可定制） |
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稳定度 |
≤1% |
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纹波及杂讯 |
≤2% |
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效率 |
≥90% |
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控制 |
控制方式 |
标准方式：恒压/高低压切换 |
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可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换 |
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控制接口 |
标准方式：面板手动 |
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可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) |
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保护 |
具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 |
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冷却 |
风冷或水冷 |
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外型 |
防护等级 |
IP21 |
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单元尺寸 (W*D*H) |
箱体：440(W)X260(H)X580(D) （20KW风冷） 面板：482(W)X280(H) |
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重量 |
30KG（20KW） |
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备注 |
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