**加速度： |
20G |
|---|---|
**分辨率： |
0.1um |
定位精度： |
1um |
**速度： |
10m/s |
**速度： |
8um/s |
行程长： |
2000mm |
速度波动： |
0.1m/s 时为 ±0.006% |
在激光切割晶圆，对晶圆划片，太阳能硅片减薄等设备中常常对X-Y-Theta 平台的高度尺寸有严格的限制，而且这类平台同时要求有很高的动态响应和工作精度。本公司提出一种这类平台的新型设计和实现方法，
技术指标
|
项目 |
X |
Y |
Theta |
|
平台运动质量/惯量（不含负载） |
7 Kg |
4 Kg |
1764 Kg·mm2 |
|
**驱动力/力矩 |
672 N |
483 N |
14 N·m |
|
**速度 |
2 m/s |
2 m/s |
1011 RPM |
|
行程 |
144 mm |
57.6 mm |
--- |
|
重复精度 |
5 um |
5 μm |
±5.2 arcsec |
|
**精度 |
10 um |
10 μm |
±15 arcsec |
|
分辨率 |
1 um |
1 μm |
245760 CPR |
|
动态响应时间 |
10 ms |
10 ms |
10 ms |
特点
• X方向采用两个特殊设计的U型直线电机驱动，这两个直线电机可以串联/并联在一起同时工作，这样X方向虽然采用龙门结构，却无需门进行解耦，就可以直接对两台电机直接驱动和控制。采用这样的设计方式，极大的提高X 方向的动态特性和驱动能力，也尽可能的减低X方向的实现高度
• Y方向是经过特殊设计的decouple结构的U型直线电机，电机动子随着X方向运动的时候不会有任何电磁力产生，需要Y方向运动的时候，电机可以单独工作。这种设计方法可以把Y方向电机的磁铁单独外置，极大的减低平台的运动质量，提高平台的驱动能力、动态响应和系统稳定性，同时有效的减低Y方向的结构高度
• Theta方向采用特殊设计的DDR电机，重量经过优化设计，高度进一步的降低
该解决方案非常适合需要特别高的动态响应和运动稳定性的场合，能提供超大加速度和运动精度，简单可靠，具有很好的性价比，在同性能平台设计方案中优势非常明显，
是对高度有严格限制的高速、高精度平台的通用型实现方式，不仅仅在半导体和太阳能设备中有着广泛的应用，对其它类似设备和应用场合同样适用。
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