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美国CASCADE-IWATSU ON-WAFER 功率半导体SIC/IGBT 探针台测试系统
产品简介：
CASCADE-IWATSU Tesla 是业界**功率器件测量系统，它提供了一款用于在高达 400A的电流和 3000V 的电压条件下进行功率半导体的过热、低接触电阻测量的完整晶圆上解决方案。该新系统采用了两款新型晶圆探针和一种全新的晶圆吸盘技术。
Tesla 解决了薄晶圆、功耗以及电流/电压要求的难题
HCP）探针专为满足Rds(on) 测量要求而设计。独特的设计**限度地抑制了探针至晶圆触点上的热失控，并支持高达 10A（在连续模式中）和高达 60A（在脉动模式中）的电流。
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