该CVD管式炉系统由: 真空管式炉、质量流量计、真空泵、真空测试仪四部分构成。广泛用于: 真空烧结、基片镀膜、干燥烧结等热处理温度较高的场所。该系统技术成熟、质量可靠；设备操作采用全数控触摸界面，丰富的图形界面提示，使得设备的操作非常简单、方便；设备的各项技术参数更是一目了然，设备的运行状态尽在您的掌控之中。该系统是材料实验室必备的理想设备。
1200型三路气体配比器CVD管式炉系统
1 | 产品名称 | 1200型三路气体配比器CVD管式炉系统 |
2 | 常规型号 | NBD-O1200-O1200-60IT150-D3ZHZ |
3 | NBD-O1200-O1200-80IT150-D3ZHZ | |
4 | 炉膛模式 | 开启式 |
5 | 显示模式 | 7英寸触摸屏(LCD) |
6 | 炉膛材料 | 进口纤维 |
7 | 加热元件 | 进口合金加热丝 |
8 | 极限温度 | 1200℃ |
9 | 工作温度 | ≤1150℃ |
10 | 升温速率 | ≤20℃(建议:10℃/min) |
11 | 加热温区 | 单温区 |
12 | 温区长度 | 440mm |
13 | 恒温区长 | 200mm |
14 | 炉管材质 | 高纯石英 |
15 | 炉管常规直径 | 50mm |
16 | 60mm | |
17 | 炉管长度 | 800mm |
18 | 密封方式 | 不锈钢真空法兰 |
19 | 气 密 性 | 真空法兰和石英炉管的气密性**可达4.03×10-3Pa |
20 | 控制模式 | 智能PID多段程序控温 |
21 | 控温精度 | ±1℃ |
22 | 温度曲线 | 30段"时间—温度曲线"任意可设 |
23 | 预存曲线 | 可预存10条温度曲线 |
24 | 超温报警 | 有 |
25 | 过流保护 | 有 |
26 | 断偶提示 | 有 |
27 | 测温元件 | K型热电偶 |
28 | 电气认证 | CE认证 |
29 | 供电电源 | 220V 50Hz～60Hz |
30 | 整机功率 | 3KW |
31 | 气体通道 | 可连接3种气源 |
32 | 流 量 计 | 质子流量计 |
33 | A路量程 | 100SCCM |
34 | B路量程 | 200SCCM |
35 | C路量程 | 500SCCM |
36 | 气路压力 | -0.1～0.15 MPa |
37 | 系统真空 | 5～10Pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置） |
38 | 售后服务 | 12个月质保，终身保修 |
39 | 包装形式 | 多层胶合板包装箱 |
40 | 随机配件 | 石英炉管、炉管堵塞、O型密封圈、防护手套、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、厚壁硅胶管、5mm内六角扳手。 |
41 | 整套尺寸 | 左右：860mm；前后：480mm；高度：1360mm |
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