研制LCD　ITO、触摸屏行业　蚀刻ITO草酸浓度管理器

主要用于LCDITO、触摸屏行业　蚀刻ITO用的草酸的浓度的控制。

本装置是对加工机的处理液浓度进行历时测定，通过补给控制水，将浓缩了的游离草酸控制到一定浓度的装置。

本装置由浓度测定部和操作控制部构成。

操作控制部搭载有浓度测定部和加工设备间的输出入信号的控制机能。

1.装置的1.装置的概要 4

1-1 装置的概要 4

2.装置的机能 5

2-1 各部的名称和按键的机能 5

2-1-1 运转操作盘的外观和各部的机能 5

3.运转操作 6

3-1 动力的设定 6

3-1-1 电源 6

3-1-2 计装空气 6

3-1-3 洗净水的供给 6

3-1-4 样液的供给 6

4.操作画面 7

◇4-1.投入电源后的主页面菜单7

◇4-2.画面切换操作说明8

◇4-3.自动运转操作说明9

4-3-1.按键名称的说明 9

LOCAL模式＋MONITOR模式 9

LOCAL模式＋CONTROL模式 9

REMOTE模式＋MONITOR模式 9

REMOTE模式＋CONTROL模式 9

4-3-2.测定动作 10

◇4-4离线操作说明 11

4-4-1.外部样液测定操作说明 11

◇4-4-2.草酸标准液校正操作说明 12

◇4-4-3.线清洗操作说明13

4-5.输入/输出操作说明 14

◇4-6.记录画面展开16

4-6-1.Alarm History画面操作说明 16

名称说明 16

4-6-2.Online Trend画面操作说明 17

名称说明 17

4-6-3.记录存储机能的说明 18

◇4-7.参数画面19

4-7-1.各参数设定值的变更方法 19

4-7-2.CONTROL PARAMETER SET画面 21

4-7-3.控制参数设定值与控制的关系 21概要 4

姚强、蒋继德

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