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ESC静电吸盘氮化铝陶聚酰亚胺静电卡盘E-CHUCK Electrostatic Chuck

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ESC静电吸盘氮化铝陶聚酰亚胺静电卡盘E-CHUCK Electrostatic Chuck

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企业信息

深圳天力士机械有限公司

实名认证

成立年份：

2007年

经营模式：

制造商

企业类型：

企业单位

主营产品：

划片刀用切割刀片晶圆划片刀硬刀金属结合剂刀片电铸金属刀,修磨V槽角度刀片,陶瓷真空吸盘圆方盘氧化铝陶瓷片,树脂刀青铜刀烧结刀,ESC静电吸盘静电卡盘，E-CHUCK精,密机械制造精密机加工,工装夹具,吸嘴,磨刀板,半导体耗材

公司地址：

爱国工业区

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产品介绍

加工定制

：

是

型号

：

6寸 8寸 12寸 16寸

用途

：

晶圆、芯片蚀刻

提供加工定制

：

是

别名

：

静电卡盘

有效期至

：

长期有效

最后更新

：

2021-03-15 11:54

浏览次数

：

3434

静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护；静电吸附单元电极采用高频导体，表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜，另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜，在保证输出稳定，同时避免高压静电压尖锐击穿。

我们可提供静电吸盘翻新修复及全新订做，工程现在测试服务。

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