该探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
实验腔体
腔体材质：304不锈钢
上盖开启：铰链侧开
内腔体尺寸：φ140x180
加热台材质：304不锈钢
观察窗尺寸：φ75
加热台尺寸：50x50
加热台温度：室温-350℃可调
加热台温控误差：±1℃
真空度：机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
真空抽气口：KF25
气体进气口：3mm-6mm卡套接头
进气阀门：高精密针阀
抽气阀门：KF25真空挡板阀
压力表：机械压力表 -0.1-0.15mpa
信号电极：4个
探针数量：4个
探针材质：φ1.5钨针 其他材质可选
探针移动平台：X轴移动行程 实验腔体
手机/微信：152 8682 6848
QQ：760625767
联系人：李工
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