信息来源：英思特半导体科技有限公司
适用对象：适用于LPE外延炉PE2061（S)、PE3061、ASM E2000 MOORE77**/78**
五种炉子的石英钟罩及石英件的清洗
控制模式：手动控制模式、自动控制模式
项目 数据
基本规格：1机台封面 聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）
2机台主机强度结构 整体骨架表面喷涂处理
3机台视窗 透明、抗静电之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm）
选配模块：1蚀刻液恒温系统 2蚀刻液循环过滤系统 3二流体喷淋系统（CGB专利技术）
4全自动烘干系统 5可结合客户端通讯协定资料储存、CIM系统、资料分析储存建立管理
机台特点：1全程自动控制，工艺生产过程中不用人工干预，保证产品性能的一致性
2采用CGB专利技术，钟罩静止等待，通过二流体及喷淋助力装置完成均匀蚀刻清洗
3更全面的全自动烘干系统
4多级别用户工艺数据库，可供用户使用和存储
5作业区内有害气体多种安全主动及被动保护相结合，保证操作人员作业环境及人身安全
6客制化设计能力佳，高设计能力满足客户制程工艺需要
制程控制：PLC控制方式
设备制造：江苏英斯特半导体科技有限公司
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