EVG®720 自动化SmartNIL®UV纳米压印光刻系统
具有EVG专有的SmartNIL®技术的自动全场UV纳米压印解决方案（**150毫米）
技术数据
EVG720系统利用EVG的创新SmartNIL技术和材料专业知识，能够大规模制造微米和纳米级结构。具有SmartNIL技术的EVG720系统能够在大面积上印刷小至40 nm *的纳米结构，具有****的吞吐量，非常适合批量生产下一代微流体和光子器件，例如衍射光学元件（ DOEs）。 *分辨率取决于过程和模板
特征
体积验证的压印技术，具有出色的复制保真度
专有的SmartNIL®技术和多次使用的聚合物印模技术
集成式压印，UV固化脱模和工作印模制造
盒带到盒带自动处理以及半自动R＆D模式
可选的顶部对齐
可选的迷你环境
适用于所有市售压印材料的开放平台
从研发到生产的可扩展性
系统外壳，可实现**过程稳定性和可靠性
EVG720技术数据
晶圆直径（基板尺寸）75至150毫米
解析度≤40 nm（分辨率取决于模板和工艺）
支持流程：SmartNIL®
曝光源：大功率LED（i线）> 400 mW /cm²
对准：可选的顶部对齐
自动分离：支持的
迷你环境和气候控制：可选的
工作印章制作：支持
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