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Centrotherm 快速退火炉/快速热工艺设备-c.RAPID 150/RTP 150

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产品
Centrotherm 快速退火炉/快速热工艺设备-c.RAPID 150/RTP 150
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自买家付款之日90天内发货
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企业信息
北京亚科晨晖科技有限公司
实名认证 企业认证
成立年份:
2011年
经营模式:
制造商,贸易商
企业类型:
企业单位
主营产品:
光刻机、键合机、原子力显微镜、扫描电镜
公司地址:
联系方式
电话:
18263262536
传真:
0632-5976067
手机:
17616329869
QQ:
26336433337
邮箱:
2633643337@qq.com
产品介绍
加工定制
型号
Centrotherm 快速退火炉/快速热工艺设备-c.RAPID 150/RTP 150
用途
Centrotherm 快速退火炉/快速热工艺设备-c.RAPID 150/RTP 150
有效期至
长期有效
最后更新
2024-11-11 09:36
浏览次数
337

Centrotherm 快速退火炉/快速热工艺设备-c.RAPID 150/RTP 15

 

Centrotherm 快速退火炉-c.RAPID 150

一、产品简介

德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商,尤其在高温设备领域。Centrotherm c.RAPID 150是一款高性能、多用途的快速退火设备,主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。

 

Centrotherm测温系统适用于从室温至高温的广泛区间。Centrotherm优化的多区温控系统结合可以独立控制的加热灯,提供了出色的控温精度和控温重复性。

此款设备配置手动装载系统,适用于研发以及小型的量产。

成熟的真空操作和气体管理系统为多种应用提供了可控的气体环境。出色的性能和高度的灵活性,结合小的占地面积,低的客户拥有成本,使c.RAPID 150成为一款**的手动RTP设备。

 

二、典型应用

退火:一般退火、接触层(Contact)退火、源/漏退火、势垒金属退火

硅化

氧化

掺杂活化

三、产品特性


 

 

Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150

一、产品简介

德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商,尤其在高温设备领域。Centrotherm RTP 150是一款高性能快速热工艺设备,主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。

 

RTP 150型快速热反应设备,采用紧凑型的真空腔室设计满足多种工艺需要,是一款可用于生产和研发用的单晶圆工艺设备。

RTP 150型设备包括一个带集成压力学习控制压力范围在1mbar至50mbar的真空腔室。采用灯管加热系统提供了可调节的加热均匀性控制,采用了CENTROTHERM公司专利技术的温度控制系统。

RTP系统可用于6寸晶圆和5寸石墨基板的加热。可在15分钟内更换基板的尺寸和类型。

设备用于高性能、小占地面积、低成本高工艺灵活性的工艺场合。

 

设备特点:

免责声明:当前页为 Centrotherm 快速退火炉/快速热工艺设备-c.RAPID 150/RTP 150产品信息展示页,该页所展示的 Centrotherm 快速退火炉/快速热工艺设备-c.RAPID 150/RTP 150产品信息及价格等相关信息均有企业自行发布与提供, Centrotherm 快速退火炉/快速热工艺设备-c.RAPID 150/RTP 150产品真实性、准确性、合法性由店铺所有企业完全负责。世界工厂网对此不承担任何保证责任,亦不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷,纠纷由会员自行协商解决。

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工商信息*以下内容来自第三方启信宝提供
法定代表人
彭辉
经营状态
存续
注册资本
100 万人民币
实缴资本
100 万人民币
统一社会信用代码
911101055732342852
组织机构代码
573234285
企业注册号
110105013752024
企业类型
其他有限责任公司
登记机关
北京市工商行政管理局朝阳分局
成立日期
2011年04月08日
营业期限
2011年04月08日--2031年04月07日
核准日期
2019年02月15日
注册地址
北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层605室
经营范围
技术推广服务;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);销售机械设备、五金交电、电子产品、金属材料、建材、化工产品(不含危险化学品);货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)