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TRYMAX 等离子除胶机

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产品
TRYMAX 等离子除胶机
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企业信息
北京亚科晨晖科技有限公司
实名认证 企业认证
成立年份:
2011年
经营模式:
制造商,贸易商
企业类型:
企业单位
主营产品:
光刻机、键合机、原子力显微镜、扫描电镜
公司地址:
联系方式
电话:
18263262536
传真:
0632-5976067
手机:
17616329869
QQ:
26336433337
邮箱:
2633643337@qq.com
产品介绍
加工定制
型号
TRYMAX 等离子除胶机
用途
TRYMAX 等离子除胶机
别名
等离子除胶机
有效期至
长期有效
最后更新
2024-11-11 09:36
浏览次数
328

TRYMAX 等离子除胶机

型号:NEO系列

TRYMAX

 

 

亚科电子的合作伙伴Trymax公司于2003年在荷兰成立,该公司主要提供半导体等离子清洗、去胶、活化设备。

Trymax目前拥有半自动、全自动系列设备供用户选择,目前已有上百台设备安装在世界各地,被广泛地应用于MEMS微机电系统、微流体器件、SOI基片制造、**封装、化合物半导体器件、功率器件和光电显示等领域。

 

  一、设备工作原理

 

等离子体是物质的一种存在状态,该状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。

Trymax NEO Series就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,通过射频/微波电源在一定的真空条件下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

 

  二、Trymax NEO Series 应用

 

前道:Light Etching;Descum strip;PR Ashing;离子注入后,光刻后,镀膜前等工艺过程; 后道/**封装/3D IC:Descum Bumping;MEMS;Plasma Treatment;Wafer Cleaning等。

 

NEO3000产品系列是Trymax半导体设备行业**的NEO系列**等离子灰化和蚀刻产品的**成员之一。

 

它可以满足**产量,适应每个生产阶段和预算。 NEO 3000系统可配置任何现有的Trymax NEO工艺模块,并与直径达300mm的基板兼容。小尺寸和模块化设计可根据您的需要灵活配置。

 

•特征

 - zui大300毫米晶圆尺寸/基板尺寸

-2或3个SMIF装载机

-5轴双臂机器人处理

-4个不同的处理模块:

•下游微波(2.45 GHz)

•射频偏压(13.56MHz)

•双源(微波,射频偏压)

•DCP(RF偏置,直接耦合等离子)

 - 优异的均匀性和可重复性

 - 机械吞吐量> 220wph

 - 紧凑的足迹

 - 非常低的拥有成本

 - 完全数字控制,Devicenet以太网


免责声明:当前页为 TRYMAX 等离子除胶机产品信息展示页,该页所展示的 TRYMAX 等离子除胶机产品信息及价格等相关信息均有企业自行发布与提供, TRYMAX 等离子除胶机产品真实性、准确性、合法性由店铺所有企业完全负责。世界工厂网对此不承担任何保证责任,亦不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷,纠纷由会员自行协商解决。

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工商信息*以下内容来自第三方启信宝提供
法定代表人
彭辉
经营状态
存续
注册资本
100 万人民币
实缴资本
100 万人民币
统一社会信用代码
911101055732342852
组织机构代码
573234285
企业注册号
110105013752024
企业类型
其他有限责任公司
登记机关
北京市工商行政管理局朝阳分局
成立日期
2011年04月08日
营业期限
2011年04月08日--2031年04月07日
核准日期
2019年02月15日
注册地址
北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层605室
经营范围
技术推广服务;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);销售机械设备、五金交电、电子产品、金属材料、建材、化工产品(不含危险化学品);货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)