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MARCH AP-600等离子系统 ——紧凑型、桌面式等离子处理设备

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产品
MARCH AP-600等离子系统 ——紧凑型、桌面式等离子处理设备
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企业信息
北京亚科晨晖科技有限公司
实名认证 企业认证
成立年份:
2011年
经营模式:
制造商,贸易商
企业类型:
企业单位
主营产品:
光刻机、键合机、原子力显微镜、扫描电镜
公司地址:
联系方式
电话:
18263262536
传真:
0632-5976067
手机:
17616329869
QQ:
26336433337
邮箱:
2633643337@qq.com
产品介绍
加工定制
型号
MARCH AP-600等离子系统 ——紧凑型、桌面式等离子处理设备
用途
MARCH AP-600等离子系统 ——紧凑型、桌面式等离子处理设备
别名
MARCH AP-600等离子系统 ——紧凑型、桌面式等离子处理设备
有效期至
长期有效
最后更新
2024-01-22 09:50
浏览次数
239

MARCH AP-600等离子系统

——紧凑型、桌面式等离子处理设备

 

 

 

AP-600是特别设计的均匀清洗和处理的等离子设备,具有易操作性强、可靠性高、低成本的优点。AP-600是完全独立的系统,需要很小的空间。等离子腔体、控制设备、13.56MHz的等离子发生器和自动匹配网络都安装在底盘上,一个连锁的门和面板提供了维护通道。等离子腔体由耐用的高品质铝做成的,并且带有铝支架。腔体里有最多达7个可移动的、可调整的电源极或接地极支架,以适应更款范围的器件、组件或工装(盒、盘或舟)。

 

清洗、表面活化、改善粘性

AP-600系统适合多种多样的等离子清洗、表面活化和改善粘性等应用,广泛应用在半导体器件制造、微电子封装和组装、医疗设备器件和生命科学器件的制造等。AP-600适合多种工艺气体,例如Ar、O2、H2、He及氟化合物气体,通过2个(标准配置)气体质量流量控制器控制气体的标准,系统还可以选配2个气体质量流量控制器来提高系统的控制性能。

 

半导体和微电子应用举例:

粘片前进行处理,提高芯片附着力;

键合前进行处理,提高键合强度;

塑模和封装前进行处理,减少封装分层;

倒装片采用底部填充工艺前进行处理,可以提高填充速度、减少空洞率、增加填充高度及一致性、增加填充物的附着力。

 

AP-600性能:

触摸屏控制及图形用户界面,提供实时过程显示;

灵活的支架,具有适应多种器件、组件及工装的能力;

带有自动匹配网络的13.56MHz的RF发生器,保证设备优异过程一致性;

设备满足简便的定期校准需要。

 

主要参数:

组成

高品质铝结构,带有热塑性塑料面板

处理腔体、控制设备、RF发生器、匹配网络(真空泵)内置

规格

569W×704H×869D(mm)

腔体

高品质铝材料

铝固定支架

内部腔体尺寸: 406W×267H×465D

**数量可调电极:7

电源极工作规格: 330W×330D

接地极工作规格:368W×330


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法定代表人
彭辉
经营状态
存续
注册资本
100 万人民币
实缴资本
100 万人民币
统一社会信用代码
911101055732342852
组织机构代码
573234285
企业注册号
110105013752024
企业类型
其他有限责任公司
登记机关
北京市工商行政管理局朝阳分局
成立日期
2011年04月08日
营业期限
2011年04月08日--2031年04月07日
核准日期
2019年02月15日
注册地址
北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层605室
经营范围
技术推广服务;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);销售机械设备、五金交电、电子产品、金属材料、建材、化工产品(不含危险化学品);货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)